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金球厚度工艺

2026-10-30 14:40:30
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金球厚度工艺
详细介绍:

金球厚度

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一、影响金球厚度的两大类因素

1、FAB自由空气球(EFO打火阶段:决定原始球体)

1.EFO电流↑→FAB球变大,同等压力下压完金球厚度偏大

2.EFO时间↑→球体变大,热影响区变长

3.打火高度、尾丝长度,直接改变原始球大小

FAB大≠压焊后就厚;厚度由键合压力、超声、瓷嘴CD共同压缩成型。

2、一焊键合参数(压焊成型,厚度主要来源)

1.Base Force基压(关键)

•Force越大:金球被压扁,厚度变薄;压力过小,金球鼓厚、球厚超标,推力偏低。

2.超声Power

•功率大:金塑性流动,金球摊开、厚度下降;功率太小金属不流动,球鼓厚。

3.键合时间Contact Time

时间长,塑性变形充分,厚度变薄;时间短球体压不开,球厚。

4.瓷嘴CD孔径

CD越大,球体向外溢出空间大,厚度变薄;CD偏小,球体被限制在孔内,金球压完偏厚。

5.热台温度:温度越高金越软,同等压力更容易压扁,厚度降低。

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二、不良现象:金球太厚/金球过扁

金球太厚(线径>0.8φ)

外观:一焊球高高鼓起,球形厚,边缘几乎没有摊开;球颈角度陡峭

失效风险

1.金球推力不足,容易脱球、一焊脱落;冶金结合不足

2.球颈应力集中,可靠性冷热循环容易断颈

调机方向:优先加大一焊Base Force;适度提升超声功率;确认FAB不要过大;检查瓷嘴CD是否偏小。

金球过扁(线径<0.5φ,球太扁)

外观:金球压成薄饼,球体向外溢料,球颈被压伤、变细。

失效风险

1.焊盘铝层挤压损伤、拔焊盘、芯片微裂纹

2.球颈受损,拉力直接断在球颈,可靠性差

调机方向:降低Base Force;降低超声功率;适当减小FAB尺寸;确认瓷嘴磨损(CD变大瓷嘴会压扁球)。

三、ASM调机实操顺序(优先调压力,再动EFO)

1.先确认FAB自由空气球尺寸(烧球不压焊测量),控制CD=1.2-1.5倍或者线径的2.0-2.6倍,

2.固定EFO参数不动,优先调整一焊Base Force,得到目标厚度;

3.Force窗口用尽,再微调超声Power/Contact Time;

4.厚度依然异常,再修正EFO电流时间;

5.同时确认瓷嘴CD与Pad匹配,瓷嘴磨损直接更换。

四、品质验证手段

1.金相切片:直接测量金球真实厚度(准确)

2.推力测试Ball Shear:金球太厚推力偏低;过扁容易出现焊盘损伤失效

3.拉力Pull:观察断裂位置,断球颈大多是球压太扁;金球整体脱落大多球厚虚焊。

五、常见现场问题排查清单

1.厚度忽厚忽薄:检查Bond Force校准、热台温度波动、瓷嘴松动、Z轴Search高度异常。

2.同一机台部分产品球厚,部分球扁:Die高度不一致,治具/基板平整度不良。

3.换新瓷嘴金球厚度突变:核对新瓷嘴CD、Tip规格。

六、金球厚度与线径的比例

工艺合格区间:0.5~0.8×φ

工艺目标:0.6~0.7×φ

•>0.8φ:金球太厚,压合不足,推力低,容易脱球

打磨结果

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•<0.5φ:金球过扁,球颈受伤,易拔焊盘、芯片裂纹

打磨结果

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•<0.5φ:金球过扁,球颈受伤,易拔焊盘、芯片裂纹

打磨结果

举例

•20μm金线:

合格厚度:11‑15μm;目标12‑14μm(0.6~0.7φ)

•25μm金线:

合格厚度:13‑18μm;目标15‑17μm

球厚不要超过0.8倍线径,不要低于0.5倍,中间0.6‑0.7较好。

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以上内容仅供参考,谢谢


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