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NANO ASMPT固晶机及复晶机
特色
●精度 ± 0.3 µm @ 3s
●支持所有固晶和复晶应用
●高精度对准光学元件
●减振系统
●自动放置偏移调整系统
●高精度 300 mm 固晶台
●动态较准系统
●定量平行度校准
●原位共晶固晶能力
●三个不同加热选项，包括激光焊接系统
●主动固晶力度控制，由 0.1 至 20N
●点胶/喷胶固晶
●固晶台上设有UV 固化功能
●固晶后检查及晶圆定位软件
●无尘室配备HEPA过滤器和除静电器
●机台以模组型式设计
公司名称：倍特盛电子科技有限公司
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