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●6面检测,晶圆分选及侧面裂纹检测功能的终检测试/分选系统
●支持晶片:6",8",12”
●芯片尺寸: 0.4*0.2 -6*6mm ;厚> 75um
●高速UPH >40K; 20个吸嘴;
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