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NUCLEUS Series 全效高精度取放系统
特色
●晶圆级扇出工艺及嵌入式封装的先驱
●支援覆晶及直接固晶模式，并可执行局部对准及整体对准
●特大基板处理能力
●支援特大固晶压力及热压固晶工艺
●配置全自动工具转换系统，实现多晶固晶工艺
●固晶製程符合洁淨度 100 级的要求
●NUCLEUS-XL: 特大基板處理能力
尺寸
宽深高
1,460 x 2,300 x 2,100 mm³
公司名称：倍特盛电子科技有限公司
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